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產(chǎn)品使用
產(chǎn)品規(guī)格 |
等級
|
純度%
|
雜質含量1x10-6(v/v)
|
鐵離子含量
1x10-6(w/w) |
應用領域
|
||||||
THC
|
H2O
|
O2+Ar
|
H2
|
N2
|
CO
|
CO2
|
||||
5.0N
|
99.999
|
1.0
|
1.0
|
1.0
|
--
|
2.0
|
2.0
|
2.0
|
0.5
|
單晶硅片氣相拋光、外延,基座腐蝕。
|
3.0N
|
99.9
|
325
|
5.0
|
20
|
200
|
200
|
50
|
200
|
未檢
|
精細化工、醫(yī)藥工業(yè)。
|
2.0N
|
99
|
3000
|
5.0
|
500
|
2450
|
3500
|
500
|
45
|
未檢
|
|
使用要求 |
1、 使用時把瓶閥排氣咀與生產(chǎn)裝置緊密連接,嚴禁氣體泄漏。 2、 使用環(huán)境溫度在-20℃至40℃之間。 3、 避免日光暴曬,與明火距離不小于10米。 4、 瓶內氣體不得用盡,應保留不少于0.8MPa的壓力。 5、 對于間歇使用系統(tǒng),應首先用高純氮氣置換系統(tǒng)空氣,然后通氯化氫進入使用系統(tǒng)并排除氮氣后,系統(tǒng)才能進行正常生產(chǎn)。生產(chǎn)完后,再用高純氮氣置換系統(tǒng)中的氯化氫,防止系統(tǒng)腐蝕。氯化氫使用完后要及時關閉瓶閥,把氣瓶從系統(tǒng)卸下,擦凈瓶閥各部,上緊瓶咀保護帽。 6、 使用自備鋼瓶,必須經(jīng)本公司改換瓶閥,進行鋼瓶處理,用戶不得自行更換瓶閥。瓶閥損壞,應請本公司更換修理。 7、 氯化氫專用鋼瓶,嚴禁改裝其它氣體。 8、 鋼瓶瓶身和瓶閥嚴禁油脂污染。 9、 使用過程中氣瓶排氣速度較快時,鋼瓶和管路結霜是正?,F(xiàn)象,嚴禁用熱水澆化;為避免鋼瓶和管路結霜,用氣量流速大于2m3/h時,需用專用供氣裝置。本公司可提供專用供氣裝置。 10、 對鋼瓶的安全可靠性有懷疑時,應立即檢驗。鋼瓶安全檢驗期為2年,超過安全檢驗期的鋼瓶不得使用。 11、 鋼瓶一般使用一年后,應請本公司幫助倒空瓶內殘液,更換閥體內件。 12、 組織工人和有關管理人員學習《氯化氫安全技術說明書》,熟悉掌握使用氯化氫氣體可能發(fā)生的事故危害及其急救、搶險措施,以及其他知識和信息。 |