凈化是關(guān)鍵

  我們來看一下電子級氯化氫的凈化是關(guān)鍵的。

  在續(xù)批量生產(chǎn)應(yīng)用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫，以及應(yīng)用于醫(yī)藥中間體、農(nóng)藥及精細(xì)化學(xué)品制造的2.8N(99.8%)化學(xué)級氯化氫。產(chǎn)品性能先進(jìn)，質(zhì)量穩(wěn)定，處于國內(nèi)領(lǐng)先地位，達(dá)到國際先進(jìn)水平。鋼瓶裝電子級氯化氫產(chǎn)品分別經(jīng)國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心抽樣檢驗(yàn)，純度大于99.999%，總雜質(zhì)含量小于5ppm，符合國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T24469-2009。

在氯化氫廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體是、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子級氯化氫的純度提出了越來越高的要求，電子級氯化氫的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。目前國內(nèi)的超高純度凈化技術(shù)主要依賴進(jìn)口，自身的技術(shù)水準(zhǔn)（6N）與國際先進(jìn)水平(8-9N)有較大差距。本項(xiàng)目將設(shè)計(jì)和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進(jìn)行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將氯化氫傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項(xiàng)目將形成有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技術(shù)，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國產(chǎn)化問題。

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