對超高純度電子級氯化氫凈化的問題解析

    淄博言赫特氣有限公司現(xiàn)有年產(chǎn)2000噸高純氯化氫生產(chǎn)線，連續(xù)批量生產(chǎn)應(yīng)用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫。

    電子級氯化氫廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和關(guān)聯(lián)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、維護(hù)氣氛等等。因為半導(dǎo)體和微電子技能向更高功能、更高集成度開展，對電子級氯化氫的純度提出了越來越高的需求，電子級特氣的凈化更加要害和重要。目前國內(nèi)的超高純度凈化技能首要依靠進(jìn)口，本身的技能水準(zhǔn)（6N）與國際先進(jìn)水平(8-9N)有較大距離。本項目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進(jìn)行結(jié)尾凈化，使電子級氯化氫純度由ppm級進(jìn)步到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，然后極大地改進(jìn)工藝才能，下降產(chǎn)物缺點， 進(jìn)步制程的產(chǎn)值，滿意下一代半導(dǎo)體、微電子以及關(guān)聯(lián)高技能開展的需求。本項目將構(gòu)成有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純度電子級氯化氫凈化技能，處理超高純度電子級氯化氫凈化這一核心技能的國產(chǎn)化問題。

    我公司所主營的鋼瓶裝電子級氯化氫產(chǎn)品分別經(jīng)國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心抽樣檢驗，純度大于99.999%，總雜質(zhì)含量小于5ppm，符合國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T24469-2009。