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電子工業(yè)對(duì)氯化氫的新要求
現(xiàn)在電子行業(yè)也成為一個(gè)熱門的行業(yè),正向著高集成化、高完整性發(fā)展。電子行業(yè)的制造需要氯化氫的參與,因?yàn)殡娮有袠I(yè)的要求提高了,所以氯化氫的使用要求也提高了,我們一起來(lái)看一下電子行業(yè)對(duì)氯化氫的新要求。
電子級(jí)氯化氫是指純度高于99.999%的高純度氯化氫氣體。除了對(duì)純度要求較高以外,對(duì)氯化氫氣體的品質(zhì)要求也非常嚴(yán)格。
隨著微電子工業(yè)向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發(fā)展,對(duì)廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機(jī)座腐蝕的電子級(jí)氯化氫也有了新的要求。除了應(yīng)具有99.999%以上的純度,還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機(jī)雜質(zhì)的含量越低越好。
電子級(jí)氯化氫主要用于外延生長(zhǎng)前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕,清除鈉離子。另外高純氯化氫也用于金屬表面化學(xué)處理,激光用混合氣、膠片生產(chǎn)及碳纖維表面處理。過(guò)去我國(guó)大多從美、日等國(guó)進(jìn)口電子級(jí)氯化氫,但近年來(lái),我國(guó)電子工業(yè)所需的化學(xué)氣體的研制,在技術(shù)上已有不少突破和發(fā)展。
從以上介紹來(lái)看我們電子所需的氣體在近幾年已經(jīng)有了很大的發(fā)展,同時(shí)北京華宇同方在很大程度上填補(bǔ)了電子級(jí)氯化氫的空白。言赫特氣直屬于北京華宇同方,所以我們的質(zhì)量您絕度放心,是您值得信賴的一家公司。
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